TFT-LCD工業(yè)生產(chǎn)的關(guān)鍵步驟包括列陣、彩膜、制盒、摸組等，如圖1所示。列陣制造工業(yè)廠房承擔(dān)著列陣基鋼板的生產(chǎn)制造，包括玻璃基板清理、PECVD、磁控濺射、光刻技術(shù)、離子注入、分離等工藝過程；彩色濾色片是TFT-LCD的關(guān)鍵部件，其基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)由玻璃基板(GlassSubstrate)、灰黑色引流矩陣(BlackMatrix)、彩色層(ColorLayer)、防護(hù)層(OverCoat)和ITO導(dǎo)電膜等組成；盒體是列陣基鋼板和彩色濾色片經(jīng)清理、表層涂裝(PI)到原材料(PI)上，經(jīng)過干固、磨擦處理，分別在CF玻璃基板和列陣基鋼板上施膠、封框膠，然后分別在LCD上涂裝、干固、封框，最后在LCD上涂裝。

　　在TFT-LCD生產(chǎn)過程中，工業(yè)廢氣引起列陣車間涂PI液、色膜車間涂PI液、RGB涂膠、防護(hù)膜(OC)、PS膜及成盒車間涂PI液等工序，而TFT-LCD在生產(chǎn)過程中造成了涂光、脫色和工業(yè)廢氣。VOCs排放方式分為兩種，一種是有機(jī)構(gòu)排放，有機(jī)廢氣在車間內(nèi)根據(jù)負(fù)壓力收集系統(tǒng)軟件排污到平頂?shù)墓I(yè)廢氣解決系統(tǒng)軟件進(jìn)行點(diǎn)火處理；另一種是無組織排放，生產(chǎn)車間內(nèi)沒有收集到的工業(yè)廢氣部分根據(jù)通風(fēng)冷卻裝置逃逸；還有一種是VOCs污水、廢水和固體廢棄物無組織排放的處理方式。潔凈生產(chǎn)車間VOCs異味嚴(yán)重，為確保員工的身心健康和工作效能，保證?員工學(xué)會(huì)放下對異味的擔(dān)憂，特對各生產(chǎn)工藝流程VOCs無組織排放情況進(jìn)行監(jiān)督，并采取有效對策降低車間VOCs濃度值。

　　根據(jù)我國《公共場所衛(wèi)生監(jiān)測技術(shù)規(guī)范》的規(guī)定，檢測所用儀器為英國華瑞ppbRAE3000便攜式VOCs檢測儀，該儀器具有200種不同的氣泡體，能靈活地反映所使用的檢測范圍，達(dá)到1×10-9~1×10-2，對TFT-LCD加工過程中產(chǎn)生的N-羥基甲酰胺、丙二醇甲醚冰醋酸酯(PGMEA)、乙酸丁酯、乙二醇單甲醚、N-羥基吡咯烷酮(PGMEA)等化學(xué)物質(zhì)進(jìn)行檢測。圖2列陣、色膜、制盒工藝產(chǎn)線VOCs檢測定位點(diǎn)遍布。

　　由于TFT-LCD工業(yè)化生產(chǎn)全過程中，揮發(fā)性有機(jī)物的關(guān)鍵成分來自光刻技術(shù)和PI液的應(yīng)用產(chǎn)線，如列陣車間的涂膠(Track)線，彩膜車間的涂膠設(shè)備線，以及PI液成盒噴涂生產(chǎn)線，所以這類產(chǎn)線上的檢驗(yàn)點(diǎn)關(guān)鍵設(shè)置，如圖2所示。陣列車間涂膠線采用PGMEA光刻膠組分，根據(jù)加工工藝構(gòu)造，每條線設(shè)4個(gè)檢驗(yàn)定位點(diǎn)，分別為Robot區(qū)(A1)、涂膠區(qū)(A2)和Robot區(qū)(A3)。彩膜車間應(yīng)用VCD抽壓區(qū)(A4)，光刻膠組分十分復(fù)雜，有灰黑色膠(BM)，綠紅和藍(lán)三色膠(RGB),OC,PS等加工工藝產(chǎn)線，其生產(chǎn)工藝結(jié)構(gòu)與列陣涂膠線相似，每條線也設(shè)4個(gè)監(jiān)測點(diǎn)，分別為羅布區(qū)(B1)，羅布區(qū)(B2)，羅布區(qū)(B3),VCD抽壓區(qū)(B4)。PI液成分主要為N-羥基吡咯烷酮，根據(jù)其加工工藝構(gòu)造，在成盒車間內(nèi)每條線上設(shè)置3個(gè)監(jiān)測點(diǎn)，分別為Robot區(qū)(C1)、PI液噴漆區(qū)(C2)、Robot區(qū)(C3)。為了深入分析VOCs的分布和模擬模擬工作人員很可能吸收的標(biāo)準(zhǔn)，驗(yàn)證定位點(diǎn)高寬比均在1.5m(吸氣帶高寬比)。