OC膜點膠主要是提升一層，以便更好地平整。

　　防護層，PS光阻施膠主要是為了改善光透過狀況，提升?LCD飽和度。光刻工藝中，OC的主要組分為60%~80%的丙二醇甲醚冰醋酸和5%~30%的二乙二醇甲藥乙醚；而PS光刻工藝中，冰醋酸含量不到1%，乙二醇甲藥乙醚含量超過60%，以及10%~25%的智能單片(EEP)。PS膠和OC膠均含有兩種化學物質，即丙二醇甲醚和乙二醇甲醚，其成分有很大差別，圖6表明，兩條生產(chǎn)線VOCs的平均濃度均處于較高水平，OC線整年平均濃度為(4.78~12.3)×10-6,PS線高些為(4.89~12.80)×10-6。結果表明：丙二醇甲醚冰乙酸和二乙二醇甲乙醚這兩種化學物質對生產(chǎn)車間VOCs濃度均有很大的危害。

　　降低生產(chǎn)車間VOCs的關鍵環(huán)節(jié)依賴于源頭控制，當無法根據(jù)替代物、尋找原料的低組成、環(huán)境污染小以及無法對生產(chǎn)線設備進行徹底封閉處理時，根據(jù)選擇的沸石吸咐機器設備對整個目標區(qū)域的旋風進行收集，然后用沸石轉輪機器設備進行集中運輸，這是很好的選擇[15]。工程前期，首先對3條加工工藝生產(chǎn)線安裝沸石滾輪開展示范點建設。圖7為選擇沸石吸咐的機器設備對總體目標區(qū)域的氣旋進行收集，然后根據(jù)沸石進行吸咐解決，吸咐解決后清潔氣體立即排入潔凈室，部分清潔氣體通過電加熱器加熱后，按照再造離心風機對沸石進行高溫吸附，脫附后的高濃度有機廢氣排入平屋VOCs解決系統(tǒng)軟件進行燃燒處理。柱式沸石吸咐設備的關鍵部位有4個區(qū)域：分離區(qū)域、再生區(qū)域、冷卻區(qū)域、加溫區(qū)域。解決區(qū)是對清潔間VOCs進行吸附的區(qū)域；再造區(qū)是對附著在沸石上的有機物進行高溫分析和去除的區(qū)域；制冷區(qū)是將因高溫而不變暖的再造區(qū)冷卻至凈化室氣體的區(qū)域；而加溫區(qū)則是根據(jù)制冷區(qū)的加熱氣體加熱至再造溫度的區(qū)域。1地鐵線路為科學研究這3條線路的VOCs濃度，正在安裝沸石轉。

　　對輪式設備在維修前、更新改造后全過程中及更新改造后運行環(huán)節(jié)的變化情況，進行了分析檢驗。

　　每行設置3個校驗點(Social1、2、3)，校驗結果見圖8。研究表明，在未安裝沸石機械設備的情況下，1,2,3地鐵線路的VOCs均值分別為(6.60,5.32,5.65)×10-6；在運行環(huán)節(jié)上，VOCs均值分別為(2.16,2.09,1.62)×10-6；運行環(huán)節(jié)上，1,2,3地鐵線路的VOCs均值分別為(2.16,2.09,1.62)×10-6；運行環(huán)節(jié)上，1,2,3地鐵線路的VOCs均值分別為(2.09,1.62)×10-6。

　　本文對中國一家TFT-LCD生產(chǎn)制造企業(yè)的各個生產(chǎn)車間的VOCs濃度分布進行了科學研究。研究表明，TFT-LCD陣列車間VOCs濃度均值最大，CF合成箱車間次之；VOCs濃度在陣列和CF車間VOCs濃度最大，且在生產(chǎn)車間VOCs濃度分布比較平衡；生產(chǎn)車間VOCs濃度受生產(chǎn)能力、膠料成分差異、機械設備密封性、加工工藝主要參數(shù)差異等因素的影響，在車間VOCs的主要來源是化學物質，如PGMEA、3-乙氧基丙酸乙酯、丙二醇單甲醚、丙二醇甲醚、二乙二醇甲藥醚等。

　　在TFT-LCD生產(chǎn)制造車間，VOCs濃度下降的關鍵所在在于操縱桿操作，加了藥沸石吸盤等機械設備后，VOCs減少在生產(chǎn)制造車間實際效果顯著，能去除大約60.71%~71.33%的工業(yè)廢氣，為事后提出減少VOCs的對策提供了基本的理論依據(jù)。